Подробное описание документа

Статья

Исследование и разработка микроэлектромеханического реле на основе пьезоэлектрических пленок / Горнев Е. С., Зайцев Н. А., Пузикова Е. В., Сафронов А. Я. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. - С. 58-61.