Подробное описание документа

Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н.
   Кремний - материал наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н. - М. : Техносфера, 2007. - 351 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-94836-101-2. - ISBN 978-5-94836-101-7.

Аннотация

Монография посвящена рассмотрению проблем и возмоностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Кремний
• Полупроводники

Общее кол-во в фондах

4 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313