Подробное описание документа

   Статья

Годовицын И. В., Фёдоров Р. А., Чаплыгин Ю. А.
   Емкостный преобразователь давления по технологии поверхностной микрообработки / Годовицын И. В., Фёдоров Р. А., Чаплыгин Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 7. - С. 54-59.

УДК

621.3.049 Конструирование электрических цепей

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 54-59

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 7. - 2007.

подробнее