Подробное описание документа
Статья
Тимошенко С. П.
Биморфный балочный актюатор с V-образными полиимидными канавками / Тимошенко С. П., Жуков А. А., Захаров А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 7. -
621.363 Термоэлектрические и термомагнитные двигатели