Подробное описание документа

   МЭМС-переключатель резистивно-емкостного типа / Соловьев Ю. В., Волков В. В., Александров С. Е., Спешилова А. Б. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 7. - С. 65-68.

УДК

621.372.837 Волноводные переключатели

Статья опубликована в следующих изданиях