Подробное описание документа
Статья
Канунникова О. М.
Строение тонких силикатных пленок: РФЭС и АСМ анализ / Канунникова О. М., Ломаева С. Ф. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 1. -
666.11.01 Свойства стекла и их исследования
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 14-17
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 1. - 2007.
№ 1. - 2007.