Подробное описание документа

   Статья

Канунникова О. М., Ломаева С. Ф.
   Строение тонких силикатных пленок: РФЭС и АСМ анализ / Канунникова О. М., Ломаева С. Ф. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 1. - С. 14-17.

УДК

666.11.01 Свойства стекла и их исследования

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 14-17

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 1. - 2007.

подробнее