Подробное описание документа
Статья
Точицкий Я. И.
Фотолитографическое и контрольное оборудование в МСТ-технологии МЭМС- и МОЭМС-устройств / Точицкий Я. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 1. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы