Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Личный кабинет
Расширенный поиск по каталогам
Поиск электронных учебников

Подробное описание документа

   Статья

Точицкий Я. И.
   Фотолитографическое и контрольное оборудование в МСТ-технологии МЭМС- и МОЭМС-устройств / Точицкий Я. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 1. - С. 61-65.

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 61-65
   Журнал
   Нано- и микросистемная техника.
   № 1. - 2007.
подробнее
© НТБ МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2024
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2024

Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана, Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания. Подробнее о файлах cookie.