Подробное описание документа

   Особенности расчета потенциального поля у поверхности катода при осаждении диэлектрических покрытий в электростатическом поле / Ульянов В. И., Лавров А. М., Клочков О. Н., Чистяков В. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 2. - С. 15-22.

УДК

621.319 Техническое применение статического электричества

Статья опубликована в следующих изданиях