Подробное описание документа
Статья
Колешко В. М.
Металлооксидные микроэлектронные газовые сенсоры: обзор . Часть 1. Конструкции и материалы / Колешко В. М., Сергейченко А. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 2. -
681.586 Преобразователи в датчики (в системах регулирования)