Подробное описание документа

Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В.
   МЭМС-микрофон. Выбор материалов, конструкции и технологии. Часть 1. Электромеханический чувствительный элемент / Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 2. - С. 53-62.

УДК

621.396.69 Детали радиоаппаратуры

Статья опубликована в следующих изданиях