Подробное описание документа
Статья
Вакуумный нанокреатор / Каргин Н. И., Пагнуев Ю. И., Синельников Б. М., Штаб А. В., Штаб Э. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 2. -
539.2 Свойства и структура молекулярных систем