Подробное описание документа
Статья
Матвеев Н. В.
Механизм формирования единичного участка вакуумного несплошного покрытия / Матвеев Н. В. // Сварочное производство. - 2007. - № 10. -
621.793.18 Нанесение покрытий путем распыления вещества бомбардировкой ионами (при тлеющем разряде в газе)