Подробное описание документа

Статья

Волоконно-оптический вибродатчик на основе микрооптомеханического преобразователя / Ветров А. А., Комиссаров С. С., Корляков А. В., Сергушичев А. Н. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 8. - С. 8-13.