Подробное описание документа
Статья
Афанасьев А. В.
Фотодиодные и МДП-сенсоры ультрафиолетового излучения на основе монокристаллического и пористого карбида кремния / Афанасьев А. В., Ильин В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 8. -