Расширенный поиск по каталогам

Поиск электронных учебников

Подробное описание документа

Статья

Корляков А. В.
Сверхтонкие мембраны в микросистемной технике / Корляков А. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 8. - С. 17-26.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 17-26

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 8. - 2007.

подробнее