Подробное описание документа

   Статья

Корляков А. В.
   Сверхтонкие мембраны в микросистемной технике / Корляков А. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 8. - С. 17-26.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 17-26

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 8. - 2007.

подробнее