Подробное описание документа

Косцов Э. Г., Фадеев С. И., Колесников А. А.
   Высокоэнергоемкие микроэлектромеханические коммутаторы / Косцов Э. Г., Фадеев С. И., Колесников А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 8. - С. 66-71.

УДК

621.316.56:621.316.925.4

Статья опубликована в следующих изданиях