Подробное описание документа
Статья
Косцов Э. Г.
Высокоэнергоемкие микроэлектромеханические коммутаторы / Косцов Э. Г., Фадеев С. И., Колесников А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 8. -