Подробное описание документа

Криворучко В. М.
   Получение тугоплавких соединений из газовой фазы / Криворучко В. М. - М. : Атомиздат, 1976. - 117 с. : ил. - Библиогр.: с. 110-117.

Аннотация

В книге рассмотрено получение карбидов, боридов, нитридов, окислов, силицидов тугоплавких металлов и станнида ниобия из газовой фазы при совместном термическом разложении и водородном восстановлении хлоридов тугоплавких металлов, углеводородов, хлоридов кремния, бора, олова и кремнийорганических соединений.
Описана кинетика осаждения этих соединений и зависимость химического состава их от различных параметров процесса (температуры поверхности подложки, скорости потока парогазовой смеси, парциальных давлений материалсодержащих соединений). Приведены физико-химические свойства таких соединений. Указаны условия получения некоторых материалов с заданными свойствами и стехиометрического состава.
Книга рекомендуется специалистам, занимающимся получением и исследованием свойств тугоплавких соединений и покрытий из них, а также разработкой приборов и конструкций на основе таких соединений.

УДК

669.018.45 Тугоплавкие металлы и сплавы

Предметные рубрики

• Тугоплавкие сплавы - Осаждение из газовой фазы

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313