Подробное описание документа

Статья

Гаценко В. П., Юрков Ю. В.
Исследование надежности автоматизированного вакуумного технологического оборудования в условиях эксплуатации / Гаценко В. П., Юрков Ю. В. // Наукоемкие технологии. - 2007. - Т. 8, № 4. - С. 50-54.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 50-54

Журнал

Наукоемкие технологии.
Т. 8, № 4. - 2007.

подробнее