Подробное описание документа

Аникин А. В.
   Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : 05. 11. 14 : автореф. дис... ктн / Аникин А. В. ; Моск. гос. открытый ун-т. - М., 2006. - 16 с.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Диссертации

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л

Похожие издания

   Автореферат диссертации

Аникин А. В.
   Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций. : автореф. дис... - 2006.

Читать онлайн

подробнее