Подробное описание документа

Гридчин В. А., Неизвестный И. Г., Шумский В. Н.
   Физика микросистем : учеб. пособие для вузов / Гридчин В. А., Неизвестный И. Г., Шумский В. Н. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2004. - (Учебники НГТУ).
   Ч. 1. - 2004. - 415 с. - ISBN 5-7782-0446-9.

Аннотация

книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия.
В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловлено широтой их
практического применения.
Предлагаемая книга ориентирована на лиц, специализирующихся в создании микросистемной техники, для которых важно количественное описание и наличие эффективных численных моделей.
Учебное пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и «Микросистемная техника», а также аспирантам, инженерам и
научным работникам.

УДК

53:621.3.049.77

Предметные рубрики

• Микроэлектроника - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л