Подробное описание документа

Тарнавский Г. А., Алиев А. В., Тарнавский А. Г.
   Создание специальных наноструктур донорных и акцепторных примесей в базовой подложке кремния для конструирования новых полупроводниковых материалов / Тарнавский Г. А., Алиев А. В., Тарнавский А. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 9. - С. 2-7.

УДК

519.2:541.1

Статья опубликована в следующих изданиях