Подробное описание документа

   Рентгеновская рефлектометрия и атомно-силовая микроскопия поверхностей с негауссовыми шероховатостями / Миронов В. Л., Удалов О. Г., Грибков Б. А., Фраерман А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 9. - С. 8-15.

УДК

538.971 Физика поверхностей и границ раздела (включая эмиссию и столкновение)

Статья опубликована в следующих изданиях