Подробное описание документа

Статья

Закономерности плазмохимического травления полиимидных "жертвенных" слоев в нано-и микроразмерных зазорах / Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Жуков А. А., Бабаевский П. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 9. - С. 20-25.