Подробное описание документа

   Исследование конструктивно-технологических параметров интегрального емкостного преобразователя давления / Галушков А. И., Годовицын И. В., Красноборьдько С. Ю., Тихомиров А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 9. - С. 44-46.

УДК

681.586 Преобразователи в датчики (в системах регулирования)

Статья опубликована в следующих изданиях