Подробное описание документа
Статья
Эффект термофореза в тепловых МЭМС / Локтев Д. В., Андреев В. М., Зиновьев Д. В., Тузовский К. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 9. -
536.5 Температура, температурные шкалы. Измерение температуры. Термометры. Регулирование температуры