Подробное описание документа

   Электронная микроскопия структурных изменений в пленках титаната бария-стронция после лазерного отжига / Жигалина О. М, Хмеленин Д. Н., Воротилов К. А., Сигов А. С., Васильев В. А., Лебо И. Г., Зворыкин В. Д. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. - С. 2-5.

УДК

621.793.3 Нанесение покрытий путем химического осаждения

Статья опубликована в следующих изданиях