Подробное описание документа

Лучников П. А., Рогачев А. А., Лучников А. П.
   Наноструктурные и морфологические свойства вакуумных фторполимерных пленок на кремнии / Лучников П. А., Рогачев А. А., Лучников А. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. - С. 6-11.

УДК

621.793.18 Нанесение покрытий путем распыления вещества бомбардировкой ионами (при тлеющем разряде в газе)

Статья опубликована в следующих изданиях