Подробное описание документа
Статья
Мустафаев А. Г.
Технология формирования кремниевых пластин со скрытым слоем / Мустафаев А. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. -
621.382.3 Полупроводниковые триоды (транзисторы)
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 11-14
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 10. - 2007.
№ 10. - 2007.