Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

Мустафаев А. Г.
   Технология формирования кремниевых пластин со скрытым слоем / Мустафаев А. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. - С. 11-14.

621.382.3 Полупроводниковые триоды (транзисторы)

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 11-14
   Журнал
   Нано- и микросистемная техника.
   № 10. - 2007.