Подробное описание документа

Статья

Зайцев Н. А.
Физико-технологические особенности проектирования приборов на основе гетероструктур кремний-сегнетоэлектрическая пленка / Зайцев Н. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. - С. 31-34.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 31-34

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 10. - 2007.

подробнее