Подробное описание документа
Статья
Актюаторы для оптических затворов и методы измерений их характеристик / Казаков В. К., Никифоров В. Г., Сафронов А. Я., Чернов В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. -
537.226.86 Механические действия. Действия механических напряжений (деформаций). Пьезоэлектричество. Трибоэлектричество (электризация трением)