Подробное описание документа

   Статья

Спирин В. Г.
   Контактное сопротивление тонкопленочного резистора / Спирин В. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. - С. 56-60.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 56-60

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 10. - 2007.

подробнее