Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

Спирин В. Г.
   Контактное сопротивление тонкопленочного резистора / Спирин В. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. - С. 56-60.

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 56-60
   Журнал
   Нано- и микросистемная техника.
   № 10. - 2007.