Подробное описание документа
Статья
Спирин В. Г.
Контактное сопротивление тонкопленочного резистора / Спирин В. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 56-60
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 10. - 2007.
№ 10. - 2007.