Подробное описание документа

   Компьютерное моделирование растрового электронного микроскопа для целей нанометрологии / Заболоцкий А. В., Батурин А. С., Бормашов В. С., Кадушников Р. М., Штуркин Н. А. // Российские нанотехнологии. - 2007. - Т. 2, № 11-12. - С. 40-48.

УДК

539.2:004.9

Статья опубликована в следующих изданиях