Подробное описание документа
Статья
Колесов Д. В.
Кантилеверы для сканирующей зондовой микроскопии / Колесов Д. В., Яминский И. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 11. -
53.084.2 Детали, непосредственно соприкасающиеся с измеряемой средой