Подробное описание документа
Статья
Мустафаев Г. А.
Исследование дефектов в структурах кремний-на-изоляторе методом аннигиляции позитронов / Мустафаев Г. А., Мустафаев А. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 11. -
539.1 Ядерная, атомная, молекулярная физика
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 17-18
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 11. - 2007.
№ 11. - 2007.