Подробное описание документа
Статья
Даринцев О. В.
Моделирование работы микроманипуляционного устройства, изготовленного с использованием наноструктурных материалов / Даринцев О. В., Мигранов А. Б. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 11. -