Подробное описание документа

Деспотули А. Л., Андреева А. В., Аристов В. В.
   Высокоемкостные конденсаторы для наноэлектроники / Деспотули А. Л., Андреева А. В., Аристов В. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 11. - С. 38-46.

УДК

621.319.4:621.3.049.77

Статья опубликована в следующих изданиях