Подробное описание документа

   Статья

Драгунов В. П., Косцов Э. Г.
   МЭМ электростатический генератор энергии / Драгунов В. П., Косцов Э. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 11. - С. 47-52.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 47-52

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 11. - 2007.

подробнее