Подробное описание документа
Статья
Драгунов В. П.
МЭМ электростатический генератор энергии / Драгунов В. П., Косцов Э. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 11. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 47-52
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 11. - 2007.
№ 11. - 2007.