Подробное описание документа

   Исследование и разработка технологии герметизации микроэлектромеханических устройств / Тимошенков С. П., Бойко А. Н., Симонов Б. М., Калугин В. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 11. - С. 53-57.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях