Подробное описание документа

Статья

Влияние обрабатываемого материала на свойства высокачастотного емкостного разряда пониженного давления / Абдуллин И. Ш., Желтухин В. С., Сагбиев И. Р., Кудинов В. В., Шаехов М. Ф. // Материаловедение. - 2007. - № 11. - С. 51-55.