Подробное описание документа

Статья

Исследование режимов фотонно-стимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана / Агеев О. А., Коноплёв Б. Г., Поляков В. В., Светличный А. М., Смирнов В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 1. - С. 14-16.