Подробное описание документа
Статья
Брюхова Ю. В.
Анализ разброса физико-технических параметров полупроводниковых приборов / Брюхова Ю. В., Зайцев Н. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 1. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы