Подробное описание документа
Статья
Ахметов Д. Г.
Микроэлектромеханические электростатические высокопроизводительные инжекторы микроструй жидкости / Ахметов Д. Г., Косцов Э. Г., Соколов А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 1. -