Подробное описание документа

Александров В. К., Биенко Ю. Н., Ильин В. Н.
   Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов : [монография] / Александров В. К., Биенко Ю. Н., Ильин В. Н. ; АН БССР, Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1988. - 239 с. : рис., табл. - Библиогр.: с.233-238. - ISBN 5-343-00264-1.

Обобщен и систематизирован опыт разработки и создания оптико-электронных методов и средств контроля и анализа линейных размеров технологических микрообъектов. Их отличительными признаками являются малые, находящиеся в субмиллиметровом диапазоне размеры, жесткие, исчисляющиеся единицами и десятыми долями микрометра допуски на изготовление, недопустимость контактных методов измерения, требования высокой локальности и производительности контроля. Более подробно описан опыт авторов по разработке методов получения и преобразования оптических изображений с применением лазеров и обработке фотоэлектрических сигналов, а также созданию первичных измерительных оптических и оптико-электронных преобразователей, реализующих предложенные приемы преобразования сигналов и способы контроля, высокоскоростную обработку измерительной информации с помощью встроенной микропроцессорной техники и микроЭВМ.
Книга предназначена для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области контрольно-измерительной техники, метрологии, автоматизации измерений.