Подробное описание документа
Статья
Изделия микросистемной техники - основные понятия и термины / Вернер В. Д., Иванов А. А., Коломенская Н. Г., Лучинин В. В., Мальцев П. П., Попова И. В., Сауров А. Н., Телец В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 12. -
621.3.049.7 Механическая конструкция, структурные материалы и компоненты