Подробное описание документа

Васильев В. А., Серегин Д. С., Воротилов К. А.
   Гибридные пористые силикатные пленки с управляемой наноструктурой / Васильев В. А., Серегин Д. С., Воротилов К. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 12. - С. 23-28.

УДК

621.315.61 Электроизоляционные материалы. Диэлектрики

Статья опубликована в следующих изданиях