Подробное описание документа

Лучников А. П., Лучников П. А., Сигов А. С.
   Микроструктура и электрофизические свойства вакуумных фторполимерных пленок для МЭМС и наноэлектроники / Лучников А. П., Лучников П. А., Сигов А. С. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 12. - С. 34-40.

УДК

621.315 Передача электрической энергии. Провода и кабели, используемые для передачи энергии и для связи. Проводники. Электроизоляционные материалы. Линейная арматура. Сооружение линий электропередачи

Статья опубликована в следующих изданиях