Подробное описание документа

Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
   Тонкопленочные тензорезисторные датчики давления - изделия нано-и микросистемной техники / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 12. - С. 49-51.

УДК

531.781.2:629.7

Статья опубликована в следующих изданиях