Подробное описание документа
Статья
Белозубов Е. М.
Тонкопленочные тензорезисторные датчики давления - изделия нано-и микросистемной техники / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 12. -