Подробное описание документа
Диссертация
Батагова Е. Б.
Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов : 05. 13. 07 : дис... ктн / Батагова Е. Б. ; Всесоюз. заоч. машиностр. ин-т. - М., 1986. - 158 л. ил. - Библиогр.:
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л