Подробное описание документа

   Статья

Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
   Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 3. - С. 28-34.

УДК

531.781 Методы измерения сил и крутящих моментов

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 28-34

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 3. - 2008.

подробнее