Подробное описание документа

   Статья

   Лазерное микроструктурирование поверхности сверхтвердых аморфных углеродных пленок / Комленок М. С., Пименов С. М., Кононенко В. В., Конов В. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 3. - С. 48-53.

УДК

621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 48-53

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 3. - 2008.

подробнее